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液化三氟化氮有什么危害?

來源:www.ek175.cn 發布時間:2022年12月10日
  液化三氟化氮化學式NF?,在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體,是一種強氧化劑。液化三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純液化三氟化氮具有好的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。
  液化三氟化氮
  液化三氟化氮是低毒性物質,但是它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜,腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼,使牙齒生黃斑,骨骼成畸形。具有強氧化性。與還原劑能發生強烈反應,引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應,甚至引起燃燒。受高熱發生劇烈分解,甚至發生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時末見死亡,但出現高鐵血紅蛋白血癥,當吸入10000ppm·l小時有死亡,在2500ppm時吸入毒后4小時死亡。高容許濃度:10ppm(29mg/m3)。
  
  如何才能不超過這個10ppm濃度限制呢?就需要用到液化三氟化氮檢測儀,使用液化三氟化氮氣體濃度檢測儀可以檢測其濃度,固定式液化三氟化氮檢測儀安裝于氣體易泄露的地點,其核心部件為氣體傳感器,當液化三氟化氮泄露后揮發出來的氣體傳感器接觸反應,固定式液化三氟化氮監測儀便會啟動自身的報警功能聲光報警,警醒工作人員。
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